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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 36(3); 2003
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2003;36(3):234-241. Published online: Nov, 30, -0001
Fe와 Hexamethyldisilabutane를 이용한 SiC 나노로드의 성장
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고려대학교 재료공학과;한국과학기술연구원 금속공정연구센터;고려대학교 재료공학과;대진대학교 신소재공학과;고려대학교 재료공학과;
초록
SiC nanorod was synthesized directly on Si substrate using hexamethyldisilabutane and Fe catalyst with (111) direction. Fe acted a liquid catalyst at growth condition. Grown SiC nanorod has about 30nm diameter and
키워드 SiC;Nanorod;VLS;HMDS;CVD;Fe;