Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 37(1); 2004
  • Article

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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2004;37(1):5-12. Published online: Nov, 30, -0001

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폴리카보네이트에서의 표면개질 조건과 DC-Bias Sputtering 증착에 따른 Cu 밀착성

  • 배길상;엄준선;이인선;김상호;고영배;김동원;
    한국기술교육대학교 신소재공학과;한국기술교육대학교 신소재공학과;한국기술교육대학교 신소재공학과;한국기술교육대학교 신소재공학과;경기대학교 재료공학과;경기대학교 재료공학과;
초록

The enhancement of adhesion for Cu film on polycarbonate (PC) surface with the $Ar/O_2$ gas plasma treatment and dc-bias sputtering was studied. The plasma treatment with this reactive mixture changes the chemical property of PC surface into hy

키워드 Cu adhesion;Surface modification;Polycarbonate;Surface roughness;DC-bias sputtering;