Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 37(6); 2004
  • Article

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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2004;37(6):307-312. Published online: Nov, 30, -0001

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DC 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의해서 제작된 TiO-N 박막의 구조 및 광학적특성에 관한 연구

  • 박장식;박상원;김태우;김성국;안원술;
    미래엔지니어링;계명대학교 환경공학부;미래엔지니어링;계명대학교 환경공학부;계명대학교 공과대학;
초록

Extensive efforts have been made in an attempt to utilize photocatalytic properties of $TiO_2$ in visible range. $TiO_2$ and TiO-N thin films were made by the DC reactive magnetron sputtering method at $300^{circ}C$. Vario

키워드 광촉매;티타늄산화물;타타늄산화질화물;이력;방전전압특성;광흡수스펙드럼;