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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 38(2); 2005
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2005;38(2):55-59. Published online: Nov, 30, -0001
ITO/Ni/ITO 박막의 광학적 전기적 특성 연구
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한국기술교육대학교 신소재공학과;한국기술교육대학교 신소재공학과;한국기술교육대학교 신소재공학과;한국기술교육대학교 신소재공학과;경기대학교 신소재공학과;
초록
ITO/Ni/ITO thin films were deposited on the PET by RF magnetron sputtering. Dependance of the process parameters such as deposition pressure, positions of Ni layer, on the transmittance, reflectance and sheet resistance of ITO/Ni/ITO film were investigate
키워드 indium Tin Oxide[ITO];RF Sputtering;Ni;Transmittance;Sheet resistance;