Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 38(2); 2005
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2005;38(2):65-68. Published online: Nov, 30, -0001

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초고진공 UBM 스퍼터링으로 제조된 라멜라 구조 TaN 박막의 연구

  • 이기락;;;;이정중;
    서울대학교 재료공학부;미국 UIUC 대학교 재료공학부;미국 UIUC 대학교 재료공학부;미국 UIUC 대학교 재료공학부;서울대학교 재료공학부;
초록

The effect of crystal orientation and microstructure on the mechanical properties of $TaN_x$ was investigated. $TaN_x$ films were grown on $SiO_2$ substrates by ultrahigh vacuum unbalanced magnetron sputter deposition in m

키워드 TaN;Sputtering;Lamellar;Stress;Hardness;