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Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 38(2); 2005
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2005;38(2):69-72. Published online: Nov, 30, -0001

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RF magnetron sputter에 의한 PET기판상 ITO/Al/ITO 박막의 증착 압력이 광학적 전기적 특성에 미치는 영향

  • 서정은;김상호;이인선;김동원;
    한국기술교육대학교 신소재공학과;한국기술교육대학교 신소재공학과;한국기술교육대학교 신소재공학과;경기대학교 신소재공학과;
초록

ITO-Al-ITO multi-layers were deposited at room temperature by RF magnetron sputtering on polyethylene terephthalate (PET). The films were deposited at various pressures of $8 imes10^{-4},;1 imes10^{-3},;4 imes10^{-3},;8 imes10^{-3};and;1 imes10^{-2}$

키워드 ITO;Al;PET;RF magnetron sputtering;Optical transmission;Sheet resistance;