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Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 38(3); 2005
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2005;38(3):106-111. Published online: Nov, 30, -0001

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PECVD법에 의해 증착된 Ti-B-C코팅막 내의 보론함량과 증착온도에 따른 미세구조 및 기계적 물성의 변화

  • 옥정태;송풍근;김광호;
    부산대학교 재료공학부;부산대학교 재료공학부;부산대학교 재료공학부;
초록

Ternary Ti-B-C coatings were synthesized on WC-Co and Si wafers substrates by a PECVD technique using a gaseous mixture of $TiCl_4,;BCl_3,;CH_4,;Ar,;and; H_2$. The effects of deposition variables such as substrate temperature, gas ratio, $

키워드 PECVD;Ti-B-C coatings;Nanocomposite;Microstructure;Depositon temperature;