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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 38(4); 2005
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2005;38(4):150-155. Published online: Nov, 30, -0001
R.F Sputtering 법으로 증착한 ITO 박막의 미세구조와 전기$cdot$ 광학적 특성
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영남대학교 신소재공학부;영남대학교 신소재공학부;영남대학교 신소재공학부;;영남대학교 신소재공학부;
초록
Highly conductive and transparent in the visible region tin-doped indium oxide(ITO) thin films were deposited on Corning glass by r.f sputtering. To achieve high transmittance and low resistivity, we examined various parameters such as r.f power and depos
키워드 Trgnsparent conducting oxide;ITO;Sputtering;R.F power;Deposition time;