Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 38(5); 2005
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2005;38(5):183-187. Published online: Nov, 30, -0001

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CFUBMS을 이용한 ZrCrAIN 나노복합 박막의 구조와 기계적 특성

  • 김연준;이호영;신경식;정우성;한전건;
    성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;
초록

The quaternary ZrCrAIN nanocomposite thin films are synthesized by Closed-Field Unbalanced Magnetron Sputtering (CFUBMS). Microstructure and mechanical properties of ZrCrAIN nanocomposite thin films are studied. Grain refinement of ZrCrAIN nanocomposite t

키워드 ZrCrAIN;Nanocomposite;CFUBMS;