Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 38(5); 2005
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2005;38(5):188-192. Published online: Nov, 30, -0001

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DC 마그네트론 스퍼터링을 이용한 IZO 박막의 제조와 특성 연구

  • 박창하;이학준;김현범;김동호;이건환;
    한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터;한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터;한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터;한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터;한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터;
초록

Indium zinc oxide (IZO) thin films were deposited on glass substrate by dc magnetron sputtering. The effects of oxygen flow rate and deposition temperature on electrical and optical properties of the films were investigated. With addition of small amount

키워드 indium zinc oxide;Transparent conductive oxide;Sputtering;Electrical transport properties;Transmittance;