Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 38(5); 2005
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2005;38(5):193-197. Published online: Nov, 30, -0001

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펄스형 진공 아크법에 의한 ZnO 박막의 상온합성 및 이의 전기적 특성에 미치는 산소분압비의 영향

  • 신민근;변응선;이성훈;김도근;전상조;구본흔;
    창원대학교 나노 신소재공학부;한국기계연구원 표면기술연구센터;한국기계연구원 표면기술연구센터;한국기계연구원 표면기술연구센터;국방품질관리소 함정분소;창원대학교 나노 신소재공학부;
초록

Highly c-axis oriented Zinc oxide (ZnO) films were successfully deposited at room temperature by oxygen ion-assisted pulsed filtered vacuum arc. The effect of oxygen gas ratio ($O_{2}/O_{2}+Ar$ on the preferred orientation, surface morphology a

키워드 ZnO film;Pulsed vacuum arc;Oxygen gas ratio;Electrical property;Rllm-temperature deposition;