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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 39(1); 2006
- Article
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2006;39(1):1-8. Published online: Nov, 30, -0001
복합표면처리된 CrN박막의 밀착력에 미치는 스퍼터링 효과에 관한 연구
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플라즈마 응용 표면기술연구센터, 한국항공대학교 재료공학과;플라즈마 응용 표면기술연구센터, 한국항공대학교 재료공학과;플라즈마 응용 표면기술연구센터, 한국항공대학교 재료공학과;플라즈마 응용 표면기술연구센터, 한국항공대학교 재료공학과;
초록
In this study, effect of sputtering after plasma nitriding and before PVD coating on the microstucture, microhardness, surface roughness and the adhesion strength of CrN thin films were investigated. Experimental results showed that this sputtering proces
키워드 Duplex surface treatment;Plasma nitriding;PVD coating;Adhesion strength;CrN thin film;