학회 연락처
- +82-2-563-0935
- +82-2-558-2230
- submission@kssse.or.kr
- https://www.kssse.or.kr/
상세보기
- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 39(1); 2006
- Article
상세보기
KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2006;39(1):9-12. Published online: Nov, 30, -0001
RF magnetron sputter에 의해 제조된 AZO/Ag/AZO 다층박막의 Ag 두께가 전기적 광학적 특성에 미치는 영향
-
한국기술교육대학교 신소재공학과;국민대학교 기계.자동차공학부;경기대학교 신소재공학과;한국기술교육대학교 신소재공학과;
초록
Al-doped ZnO(AZO)/Ag/AZO multi-layer films deposited on PET substrate by RF magnetron sputtering have a much better electrical properties than Al-doped ZnO single-layer films. The multi-layer structure consisted of three layers, AZO/Ag/AZO, the optimum th
키워드 AZO;Ag;PET;RF magnetron sputtering;Optical transmission;Sheet resistance;