Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 39(2); 2006
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2006;39(2):82-86. Published online: Nov, 30, -0001

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$CH_4/O_2$의 사이클릭 유량제어에 의한 다이아몬드 박막의 특성향상

  • 김태규;김성훈;윤수종;
    부산대학교 나노시스템공정공학과;신라대학교 전자재료공학과;부산대학교 나노정보소재공학과;
초록

Diamond films were deposited on 10.0$ imes$10.0$mm^2$ pretreated (100) Si substrate using $CH_4$, $H_2$ and $O_2$ source gases in a horizontal-type microwave plasma enhanced chemical vapor deposition

키워드 Diamond;Nucleation density;Quality;The simultaneous cyclic on/off modulation of $CH_4$ and $O_2$ flow;