Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 39(5); 2006
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2006;39(5):199-205. Published online: Nov, 30, -0001

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AISI 420 stainless steel 기판위에 D.C magnetron sputtering 법으로 제조한 TiN 박막의 특성 평가

  • 송승우;최한철;김영만;
    전남대학교 공과대학 금속공학과;조선대학교 치과대학 치의학과;전남대학교 공과대학 금속공학과;
초록

Titanium nitride (TiN) coatings were produced on AISI 420 stainless steel by DC magnetron sputtering of a Ti target changing the processing variables, such as the flow rate of $N_2/Ar$, substrate temperature and the existence of Ti interlayer b

키워드 Stoichiometry;Sputtering;Thin film;