Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 39(5); 2006
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2006;39(5):206-209. Published online: Nov, 30, -0001

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폴리머 기판상에 합성된 저온 ITO 박막에 미치는 $Ar;+;H_2$ 플라즈마의 영향

  • 문창성;정윤모;이호영;김용모;김갑석;;한전건;
    성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;;성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;
초록

Indium tin oxide (ITO) films were synthesized on polymer (PES, polyethersulfone) at room temperature by pulsed DC magnetron sputtering. By the control of introducing hydrogen to argon atmosphere, the resistivity of ITO films was obtained at $5.27;{ i

키워드 ITO;Hydrogen;Low temperature;Pulsed magnetron sputtering;