Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 39(6); 2006
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2006;39(6):250-254. Published online: Nov, 30, -0001

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ZnO 박막의 전기적 구조적 특성에 미치는 수소 분압비의 영향

  • 이성훈;신민근;변응선;김도근;전상조;구본흔;
    한국기계연구원 표면기술연구센터;창원대학교 전자재료실험실;한국기계연구원 표면기술연구센터;한국기계연구원 표면기술연구센터;국방기술품질원 부산센터;창원대학교 전자재료실험실;
초록

Effect of hydrogen partial pressure ratio on the structural and electrical properties of highly c-axis oriented ZnO films deposited by oxygen ion-assisted pulsed filtered vacuum arc at a room temperature was investigated. The hydrogen partial pressure rat

키워드 Electrical property;Structure;ZnO thin film;Vacuum arc;Hydrogen effect;Low temperature deposition;