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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 40(1); 2007
- Article
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2007;40(1):1-5. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2007.40.1.001
CFUBMS을 이용한 TiZrAlN 나노복합 박막의 미세 구조와 기계적 특성
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성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;성균관대학교 신소재공학과, 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;
초록
Quaternary TiZrAlN nanocomposite thin films were synthesized by Closed-Field Unbalanced Magnetron Sputtering (CFUBMS), and their microstructure and mechanical characteristics were examined. The grain refinement of the TiZrAlN nanocomposite thin films was
키워드 TiZrAlN;Nanocomposite;CFUBMS;