Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 40(3); 2007
  • Article

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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2007;40(3):144-148. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2007.40.3.144

산소 가스 유량비 변화에 따른 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구

  • 최동훈;금민종;전아람;한전건;
    성균관대학교 신소재공학과 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;성균관대학교 신소재공학과 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;성균관대학교 신소재공학과 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;성균관대학교 신소재공학과 플라즈마 응용 표면기술 연구센터;
초록

To prepare the transparent electrode for electronic devices such as flat panel or flexible displays, solar cells, and touch panels; tin doped $In_2O_3$ (ITO) films with low resistivity and a high transparency were fabricated using a facing targ

키워드 ITO;Facing targets sputtering;Mobility;Carrier concentration;