Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 40(4); 2007
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2007;40(4):185-189. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2007.40.4.185

주사전자현미경 특성의 통계적 해석

  • 김태선;김우석;김동환;김병환;
    가톨릭대학교 정보통신전자공학부;세종대학교 전자공학과;서울산업대학교 기계설계자동화공학부;세종대학교 전자공학과;
초록

A scanning electron microscope (SEM) is a complex system, consisting of many sophisticated components. For a systematic characterization, a $2^4$ full factorial experiment was conducted. The SEM components examined include condenser lens 1 and

키워드 SEM;Statistical analysis;Main effect;Response surface model;