Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 40(6); 2007
  • Article

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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2007;40(6):245-249. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2007.40.6.245

DC 마그네트론 스퍼터로 증착한 flexible OLED용 IZO 박막의 기계적 특성과 투습특성에 미치는 반응성 가스 첨가의 효과

  • 천고은;이동엽;조영래;송풍근;
    부산대학교 재료공학부;부산대학교 재료공학부;부산대학교 재료공학부;부산대학교 재료공학부;
초록

Amorphous IZO films were deposited on PET substrate by DC magnetron sputtering without substrate heating. In order to investigate effect of reactive gas addition on film properties, 0.2-0.4% of $H_2$ or $O_2$ gas was introduced durin

키워드 OLED;IZO;TCO;Bending test;Mechanical property;Water permeability;DC magnetron sputtering;