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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 40(6); 2007
- Article
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2007;40(6):279-282. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2007.40.6.279
하이브리드 코팅시스템에 의해 제조된 Cr-Mo-Si-C-N 박막의 미세구조 및 기계적 특성연구
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부산대학교 재료공학과;부산대학교 국가핵심연구센터;부산대학교 재료공학과;
초록
Cr-Mo-Si-C-N coatings were deposited on steel and Si wafer by a hybrid system of AIP and sputtering techniques using Cr, Mo and Si target in
키워드 Cr-Mo-Si-C-N;Hybrid system;Microstructure;Mechanical properties;