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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 41(1); 2008
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2008;41(1):6-11. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2008.41.1.006
대면적 상온 Indium Zinc Oxide 투명 도전막의 물성 특성 비교
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삼성전자 LCD 총괄 차세대 연구소;삼성전자 LCD 총괄 차세대 연구소;삼성전자 LCD 총괄 TFT3 파트(Mobile);성균관대학교 정보통신공학부 정보통신소자 Lab.;
초록
An Indium Zinc Oxide(IZO) transparent conductive layer was deposited on a large size glass substrate by using magnetron dc sputtering method with varying a deposition temperature. As the deposition temperature decreased to a room temperature, the sheet re
키워드 Indium Zinc Oxide;Room temperature deposition;Liquid crystal display;Large size;