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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 41(3); 2008
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2008;41(3):94-101. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2008.41.3.094
마그네트론 음극의 자석 배열에 따른 방전의 형상 변화 연구
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군산대학교 공과대학 신소재.나노화학공학부, 플라즈마 소재 응용 센터;군산대학교 공과대학 신소재.나노화학공학부, 플라즈마 소재 응용 센터;
초록
A new convenient magnet array module is designed to investigate effects of magnetic field array on magnetron discharge characteristics. Magnetic field analysis showed good agreement of measured discharge region by a CCD device which has a high quantum eff
키워드 Magnetron;Sputtering;Magnetic field;Plasma;Pulsed dc;Melting;