Aug, 31, 2024

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 41(5); 2008
  • Article

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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2008;41(5):214-219. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2008.41.5.214

DC마그네트론 스퍼터링법으로 PET 기판위에 저온 증착한 ITO박막의 비저항과 굽힘 저항성에 대한 RF인가의 영향

  • 박미랑;이성훈;김도근;이건환;송풍근;
    부산대학교 재료공학부;한국기계연구원 부설 재료연구소;한국기계연구원 부설 재료연구소;한국기계연구원 부설 재료연구소;부산대학교 재료공학부;
초록

Indium tin oxide (ITO) films were deposited on PET substrate by RF superimposed DC magnetron sputtering using ITO (doped with 10 wt% $SnO_2$) target. Substrate temperature was maintained below $750^{circ}C$ without intentionally subs

키워드 Indium Tin Oxide (ITO);RF super-imposed DC sputtering;Magnetron sputtering;Flexible substrate;Bending test;