Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 41(6); 2008
  • Article

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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2008;41(6):331-334. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2008.41.6.331

나노임프린트 리소그래피를 이용한 곡면 기판 위에 정렬된 나노 볼 패턴 형성에 관한 연구

  • 홍성훈;배병주;곽신웅;이헌;
    고려대학교 신소재공학과;고려대학교 신소재공학과;코닉시스템(주);고려대학교 신소재공학과;
초록

The replica of highly ordered nano-sphere array patterns were fabricated using hot embossing method. First, silica nano-sphere array on Si substrate was transferred to PVC film at $130^{circ}C$ and 7 bar using hot embossing process. Then, silic

키워드 Nano-sphere;Flexible template;UV nanoimprint lithography;Curved substrate;