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Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 42(3); 2009
  • Article

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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2009;42(3):122-127. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2009.42.3.122

DC 마그네트론 Co-sputtering 시스템을 이용하여 증착한 GAZO 박막의 전기적 및 구조적 특성

  • ;박세훈;송풍근;
    부산대학교 재료공학부;부산대학교 재료공학부;부산대학교 재료공학부;
초록

Ga/Al doped ZnO (GAZO) thin films were prepared on non-alkali glass substrate by co-sputtering system using two DC cathodes equipped with AZO ($Al_2O_3$:2.0 wt%) target and GZO ($Ga_2O_3$:6.65 wt%) target. This study examined the inf

키워드 Al doped ZnO;Ga doped ZnO;Ga/Al co-doped ZnO;Co-sputtering;