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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 43(1); 2010
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2010;43(1):7-11. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2010.43.1.007
라만 분석을 통한 비정질 실리콘 박막의 고온 고상 결정화 거동
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홍익대학교 공과대학 신소재 공학과;홍익대학교 공과대학 신소재 공학과;
초록
Solid phase crystallization (SPC) is a simple method in producing a polycrystalline phase by annealing amorphous silicon (a-Si) in a furnace environment. Main motivation of the crystallization technique is to fabricate low temperature polycrystalline sili
키워드 SPC;poly-Si;TFT;Raman spectroscopy;