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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 43(6); 2010
- Article
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2010;43(6):304-308. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2010.43.6.304
백색 LED 증착용 MOCVD 장치에서 유도가열을 이용한 기판의 온도 균일도 향상에 관한 연구
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군산대학교 공과대학 신소재공학과, 플라즈마 소재응용센터;군산대학교 공과대학 신소재공학과, 플라즈마 소재응용센터;군산대학교 공과대학 신소재공학과, 플라즈마 소재응용센터;주성 엔지니어링;주성 엔지니어링;
초록
Deposition temperature uniformity of GaN based MQW (multiple quantum well) layers is an important key which affects the wavelength uniformity of white LEDs. Temperature uniformity was assessed by infrared images for both cases of a static and a rotating s
키워드 Induction heating;Substrate temperature uniformity;Substrate rotating;CFD-ACE+;Numerical modeling;