Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

최신논문 논문목록
논문검색
논문 상세 검색
학회 연락처

상세보기

  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 44(2); 2011
  • Article

상세보기

KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2011;44(2):60-67. Published online: Nov, 30, -0001

PDF

DOI : 10.5695/JKISE.2011.44.2.060

기판 바이어스 DC 전원의 종류와 반응가스 분압비가 3성분계 B-C-N 코팅막의 합성과 마찰 특성에 미치는 영향

  • 정다운;김두인;김광호;
    부산대학교 재료공학과;부산대학교 하이브리드소재 솔루션 국가핵심연구센터;부산대학교 재료공학과;
초록

Ternary B-C-N coatings were deposited on Si(100) wafer substrate from $B_4C$ target by RF magnetron sputtering technique in $Ar+N_2+CH_4$ gas mixture. In this work, the effect of reactant gas ratio, $CH_4/(N_2+CH_4)$ on th

키워드 B-C-N;RF magnetron sputtering;Bonding characteristics;Tribological properties;