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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 44(3); 2011
- Article
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2011;44(3):95-104. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2011.44.3.095
Hybrid PVD로 제조된 Ti-Me-N (Me=V, Si 및 Nb) 나노 박막의 미세구조와 마모특성
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한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링세라믹센터;한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링세라믹센터;한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링세라믹센터;한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링세라믹센터;한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링세라믹센터;한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링세라믹센터;고려대학교 신소재공학과;한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링세라믹센터;
초록
Ti based nanocomposite films including V, Si and Nb (Ti-Me-N, Me=V, Si and Nb) were fabricated by hybrid physical vapor deposition (PVD) method consisting of unbalanced magnetron (UBM) sputtering and arc ion plating (AIP). The pure Ti target was used for
키워드 Tribology;Ti-V-N;Ti-Nb-N;Ti-Si-N;Hybrid PVD;Nanocomposite film;