Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 44(6); 2011
  • Article

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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2011;44(6):260-263. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2011.44.6.260

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 태양전지용 GZO/ITO 투명전도성 박막의 물성에 미치는 ITO층의 영향

  • 정아로미;송풍근;
    부산대학교 재료공학부;부산대학교 재료공학부;
초록

GZO/ITO double layered films were deposited on unheated non-alkali glass substrates by RF magnetron sputtering using an ITO ($SnO_2$: 10 wt%) and GZO($Ga_2O_3$: 5.57 wt%) ceramic targets, respectively. The electrical resistivity of G

키워드 ITO;GZO;Magnetron sputtering;Double layer;Solar cells;