Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 44(6); 2011
  • Article

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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2011;44(6):269-276. Published online: Nov, 30, -0001

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중간층 조건에 따른 Cr-Mo-N 막의 상형성 및 마찰마모 거동 연구

  • 양영환;여인웅;박상진;임대순;오윤석;
    한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링세라믹센터;현대.기아 연구개발총괄본부 중앙연구소 기반기술연구팀;현대하이스코 연구개발팀;고려대학교 신소재공학과;한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링세라믹센터;
초록

Phase evolution and tribological behavior of Cr-Mo-N multi compositional films with different interlayer were investigated. The films were deposited by hybrid PVD (Physical Vapor Deposition) system consisted of dc unbalanced magnetron (UBM) sputtering and

키워드 Cr-Mo-N;Interlayer;Hybrid PVD;Tribology;Solid lubrication;