학회 연락처
- +82-2-563-0935
- +82-2-558-2230
- submission@kssse.or.kr
- https://www.kssse.or.kr/
상세보기
- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 45(2); 2012
- Article
상세보기
KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2012;45(2):75-80. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2012.45.2.075
유도 결합 플라즈마 스퍼터 승화법을 이용한 고속증착 시스템
-
군산대학교 공과대학 신소재공학과, 플라즈마 소재 응용 센터;군산대학교 공과대학 신소재공학과, 플라즈마 소재 응용 센터;
초록
A sputter-sublimation source was tested for high rate deposition of protective coating of PEMFC(polymer electrolyte membrane fuel cell) with high electrical conductivity and anti-corrosion capability by DC biasing of a metal rod immersed in inductively co
키워드 High rate sputtering;Sublimation;Inductively coupled plasma;