Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 45(2); 2012
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2012;45(2):81-88. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2012.45.2.081

이중 로듐 층을 갖는 멤스 프로브 팁의 특성

  • 박동건;박용준;임슬기;김일;신상훈;조현철;박승필;김동원;
    경기대학교 신소재공학과;경기대학교 신소재공학과;경기대학교 신소재공학과;(주)윌테크놀러지;(주)윌테크놀러지;(주)윌테크놀러지;(주)윌테크놀러지;경기대학교 신소재공학과;
초록

Probe tip, which should have not only superior electrical characteristics but also good abrasion resistance for numerous contacts with semiconductor pads to confirm their availability, is essential for MEMS probe card. To obtain good durability of probe t

키워드 MEMS probe card;MEMS probe tip;Electroplating;Rhodium;Buffer layer;