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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 45(3); 2012
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2012;45(3):117-122. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2012.45.3.117
DC, RF 마그네트론 코스퍼터링법으로 증착한 ZTO/GZO 투명전도성막의 열처리 조건이 박막의 물성에 미치는 영향
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부산대학교 재료공학부;부산대학교 재료공학부;한국기계연구원 재료연구소;한국전자통신연구원;부산대학교 재료공학부;
초록
ZTO/GZO double layered films were prepared on unheated non-alkali glass substrates. ZTO films were deposited by RF/DC hybrid magnetron co-sputtering using ZnO (RF) target and
키워드 ZTO;GZO;Double layer;Post-annealing;WVTR;