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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 46(1); 2013
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2013;46(1):29-35. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2013.46.1.029
마이크로웨이브 플라즈마 CVD에 의한 나노결정질 다이아몬드 박막 성장 시 DC 바이어스 효과
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한국산업기술대학교 신소재공학과;한국산업기술대학교 신소재공학과;
초록
The effect of DC bias on the growth of nanocrystalline diamond films on silicon substrate by microwave plasma chemical vapor deposition has been studied varying the substrate temperature (400, 500, 600, and
키워드 Nanocrystalline diamond;Microwave plasma CVD;Nucleation and growth;