Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 46(2); 2013
  • Article

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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2013;46(2):75-79. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2013.46.2.075

셀렌화 공정을 제외한 RF 마그네트론 스퍼터링으로 제작된 Cu(In,Ga)Se2 박막의 구조 및 전기적 특성

  • 최정규;황동현;손영국;
    부산대학교 재료공학부;부산대학교 재료공학부;부산대학교 재료공학부;
초록

A one-step route was developed to fabricate $Cu(In,Ga)Se_2$ (CIGS) thin films by radio frequency (RF) magnetron sputtering from a single quaternary $CuIn_{0.75}Ga_{0.25}Se_2$ target. The effects of the substrate temperatures on the s

키워드 CIGS;RF Magnetron sputtering;Absorber layer;Solar cells;