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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 46(6); 2013
- Article
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2013;46(6):248-257. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2013.46.6.248
스퍼터 공정변수가 팔라듐 합금 수소분리막의 특성에 미치는 영향
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경기대학교 신소재공학과;경기대학교 SDM전공;경기대학교 SDM전공;한국 유미코아 천안 리서치 테크놀로지 센터;경기대학교 신소재공학과;
초록
It is generally recognized that thin Pd-Cu alloy films fabricated by sputtering show a wide range of microstructures and properties, both of which are highly dependent on the sputtering conditions. In view of this, the present study aims to investigate th
키워드 Pd alloy hydrogen membrane;Sputtering deposition;Sputtering variables;Dense structure;Hydrogen perm-selectivity;