Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

최신논문 논문목록
논문검색
논문 상세 검색
학회 연락처

상세보기

  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 47(2); 2014
  • Article

상세보기

KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2014;47(2):81-85. Published online: Nov, 30, -0001

PDF

DOI : 10.5695/JKISE.2014.47.2.081

진공열처리 온도에 따른 GZO/Al 적층박막의 구조적, 전기적, 광학적 특성 변화

  • 김선경;김승홍;김소영;전재현;공태경;윤대영;최동용;최동혁;손동일;김대일;
    울산대학교 첨단소재공학부;울산대학교 첨단소재공학부;울산대학교 첨단소재공학부;울산대학교 첨단소재공학부;울산대학교 첨단소재공학부;동국실업 주식회사;동국실업 주식회사;동국실업 주식회사;동국실업 주식회사;울산대학교 첨단소재공학부;
초록

Ga doped ZnO (GZO)/Al bi-layered films were deposited on the glass substrate by RF and DC magnetron sputtering and then vacuum annealed at different temperatures of 100, 200 and $300^{circ}C$ for 30 minutes to consider the effects of annealing

키워드 GZO;Al;Annealing temperature;XRD;Figure of merit;