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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 47(3); 2014
- Article
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2014;47(3):109-115. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2014.47.3.109
모듈레이티드 펄스 스퍼터링으로 상온 증착한 Indium-Tin-Oxide (ITO) 나노 박막
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군산대학교 공과대학 신소재공학과 플라즈마 소재 응용 센터;군산대학교 공과대학 신소재공학과 플라즈마 소재 응용 센터;군산대학교 공과대학 신소재공학과 플라즈마 소재 응용 센터;
초록
High power impulse magnetron sputtering (HIPIMS), also known as the technology is called peak power density in a short period, you can get high, so high ionization sputtering rate can make. Higher ionization of sputtered species to a variety of coating ma
키워드 MPP(Modulated Pulse Power);ITO(Indium-Tin-Oxide);Resistivity;Room temperature;Transmittance;Nano thin film;