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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 47(4); 2014
- Article
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2014;47(4):174-180. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2014.47.4.174
하이브리드 공정으로 제조한 TiAlSiN 박막의 특성
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포항산업과학연구원 시스템솔루션연구센터;포항산업과학연구원 시스템솔루션연구센터;포항산업과학연구원 시스템솔루션연구센터;포항산업과학연구원 시스템솔루션연구센터;포항산업과학연구원 시스템솔루션연구센터;
초록
In this study, TiAlSiN coatings have been successfully synthesized on stainless steel and tungsten carbide substrate by a hybrid coating method employing a cathodic arc and a magnetron sputtering source. TiAl and Si target were vaporized with the cathodic
키워드 Magnetron Sputtering;Cathodic Arc Deposition;TiAlSiN Coating;Hybrid Process;Oxidation Resistance;