Aug, 31, 2024

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 47(5); 2014
  • Article

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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2014;47(5):239-243. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2014.47.5.239

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 상온 증착된 비정질 ITZO 산화물의 전기적 및 광학적 특성

  • 이기창;조광민;이준형;김정주;허영우;
    경북대학교, 신소재공학부;경북대학교, 신소재공학부;경북대학교, 신소재공학부;경북대학교, 신소재공학부;경북대학교, 신소재공학부;
초록

The electrical and optical properties of amorphous In-Tin-Zinc-Oxide(ITZO) deposited at room temperature using rf-magnetron sputtering were investigated. The amorphous ITZO thin films were obtained at the composition of In:Sn:Zn = 6:2:2, 4:3:3, and 2:4:4,

키워드 ITZO;RF Magnetron sputtering;Oxide TFT;transparent conductive oxide;