Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 48(2); 2015
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2015;48(2):50-55. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2015.48.2.50

원자층 증착법에 의한 Al2O3 박막 형성에 따른 모스아이 구조 반사방지 필름의 기계적 물성에 미치는 영향

  • 윤은영;이우재;장경수;최현진;최우창;권세훈;
    부산대학교, 재료공학부;부산대학교, 재료공학부;(주)서영, 나노융합사업팀;부산테크노파크, 멤스나노부품생산센터;부산테크노파크, 멤스나노부품생산센터;부산대학교, 재료공학부;
초록

$Al_2O_3$ thin films were deposited on the moth eye anti-reflective nanostructured polycarbonate films by atomic layer deposition (ALD) techniques. Without ALD-$Al_2O_3$ thin films, moth eye anti-reflective nanostructured films had a

키워드 Moth eye structure;Atomic layer deposition;$Al_2O_3$ thin films;Mechanical properties;