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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 48(4); 2015
- Article
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2015;48(4):179-184. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2015.48.4.179
오염된 QMS의 원인 분석과 세정 및 기능 복원
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군산대학교 대학원 플라즈마 융합공학과;군산대학교 대학원 플라즈마 융합공학과;
초록
Quadrupole Mass Spectrometers (QMS) is a very useful tool in vacuum process diagnosis. Tungsten filament based ion sources are vulnerable to contamination from process gas monitoring. Common symptoms of quadrupole mass spectrometer malfunction is appearan
키워드 QMS;ion source;filament;cleaning;CFD-ACE+;