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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 48(5); 2015
- Article
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2015;48(5):205-210. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2015.48.5.205
유도결합 플라즈마 파워가 NbN 코팅막의 미세구조, 결정구조 및 기계적 특성에 미치는 영향에 관한 연구
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목포대학교 신소재공학과;
초록
NbN coatings were prepared by ICP (inductively coupled plasma) assisted magnetron sputtering from a Nb metal target in
키워드 Inductively Coupled Plasma;NbN coatings;Roughness;Structure;Morphology;