Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 48(6); 2015
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2015;48(6):292-296. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2015.48.6.292

RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작한 ITZO 박막의 구조 및 광학적 특성

  • 김동렬;배지환;황동현;손영국;
    부산대학교 재료공학부;부산대학교 재료공학부;신라대학교 신소재공학과;부산대학교 재료공학부;
초록

Indium tin zinc oxide (ITZO) thin films were deposited on glass and quartz substrates by RF magnetron sputtering. The substrate temperature varied from $100^{circ}C$ to $400^{circ}C$. The structural and optical properties of thin fil

키워드 ITZO;transmittance;RF Magnetron sputtering;thin film;