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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 49(1); 2016
- Article
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2016;49(1):92-97. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2016.49.1.92
산소 유량별 플라즈마 방출광원 세기에 따른 전자온도 진단과 산화주석박막 특성연구
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광운대학교 전자바이오물리학과;광운대학교 전자바이오물리학과;광운대학교 전자바이오물리학과;광운대학교 전자바이오물리학과;광운대학교 전자바이오물리학과;
초록
The plasma has been used in various industrial fields of semiconductors, displays, transparent electrode and so on. Plasma diagnostics is critical to the uniform process and the product. We use the electron temperature of the various plasma parameters for
키워드 DC-magnetron sputtering;Inductively Coupled Plasma;Double Langmuir Probe;Line ratio method;Electron temperature;