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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 49(4); 2016
- Article
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2016;49(4):376-381. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2016.49.4.376
유도결합 플라즈마 파워가 VN 코팅막의 미세구조, 결정구조 및 기계적 특성에 미치는 영향에 관한 연구
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목포대학교 신소재공학과;목포대학교 신소재공학과;
초록
The effects of ICP (Inductively Coupled Plasma) power, ranging from 0 to 200 W, on the crystal structure, microstructure, surface roughness and mechanical properties of magnetron sputtered VN coatings were systematically investigated with FE-SEM, AFM, XRD
키워드 Inductively Coupled Plasma;VN coatings;Nanocrystalline;Grain size;Crystal structure;