Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 49(5); 2016
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2016;49(5):461-466. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2016.49.5.461

비대칭 바이폴라 펄스 스퍼터법으로 증착된 VN 코팅막의 미세구조, 결정구조 및 기계적 특성에 관한 연구

  • 전성용;정평근;
    목포대학교 신소재공학과;목포대학교 신소재공학과;
초록

Nanocrystalline vanadium nitride (VN) coatings were deposited using asymmetric bipolar pulsed dc sputtering to further understand the influence of the pulsed plasmas on the crystal structure, microstructure and mechanical properties. Properties of VN coat

키워드 Pulsed Sputtering;VN;Asymmetric Bipolar;Duty cycle;Pulse frequency;